刻蚀设备重要性 刻蚀是芯片制造三大核心工艺之一，占晶圆制造设备投资的20%以上。 国产进展 中微公司：5nm刻蚀机获台积电认证 北方华创：硅刻蚀机市场份额持续提升 屹唐半导体：去胶设备已量产 技术挑战 先进制程刻蚀精度要求极高 设备可靠性需长期验证 备件供应链需完善
