ESG挑战 能耗：一座晶圆厂年耗电量相当于一座中型城市 水耗：先进制程耗水量巨大 化学品：大量使用有害化学品 碳排放：全产业链碳足迹惊人 绿色制造实践 台积电：2030年可再生能源使用50% 英特尔：2030年实现全球运营碳中和 中芯国际：废水回用率达85%+ 技术创新 极紫外光刻：减少化学试剂使用 干法刻蚀：替代湿法工艺 循环水系统：大幅降低水耗
