智能制造技术栈 设备互联：SECS/GEM协议，实现设备全连接 大数据分析：海量数据实时分析，预测设备故障 AI优化：智能调度，提升设备利用率 数字孪生：虚拟晶圆厂，仿真优化 应用成效 设备稼动率提升5-10% 良率提升0.5-1% 运营成本降低10-15% 新品导入周期缩短20% 国内实践 中芯国际：12英寸智能工厂 华虹半导体：数字化制造平台
